很多方法都可以用來測量薄膜的厚度。這些方法中，紫外可見分光光度計(jì)提供了簡便的、對薄膜厚度不造成損害的測量方式。
對硅片上兩個(gè)不同厚度的光阻層(0.5 µm, 3.0 µm)進(jìn)行測量。結(jié)果發(fā)現(xiàn)，薄膜越薄，波的周期越長，反之亦然。
紫外可見分光光度計(jì)
允許對所有種類的薄膜進(jìn)行簡易的并且不造成薄膜厚度損害的測量。從薄膜的前后表面反射出的光相互交叉形成一個(gè)干涉圖。在一定波長范圍內(nèi)，薄膜的厚度可通過光譜上波的數(shù)量計(jì)算得到（在物質(zhì)的折射率已知的情況下）。
