如何判斷真空系統(tǒng)有否漏氣及解決方法？
作者：admin 內(nèi)容來源：本站原創(chuàng) 發(fā)布時(shí)間：2016年04月26日 瀏覽量：
1. 如果在峰監(jiān)測(cè)窗口中m/z28 強(qiáng)度比m/z18強(qiáng)度 大于2則有漏氣可能，進(jìn)一步判斷m/z28強(qiáng)度和m/z69強(qiáng)度比例，小于2即不漏氣，若大于2則有漏氣的可能。
2. 確認(rèn)真空啟動(dòng)的時(shí)間，一般情況下真空啟動(dòng)2小時(shí)后才能達(dá)到較穩(wěn)的狀態(tài)，如果啟動(dòng)時(shí)間小于1小時(shí)，氮?dú)夥蹇赡軙?huì)略高。
3. 確認(rèn)系統(tǒng)是否存在假漏氣：
1. 如果在峰監(jiān)測(cè)窗口中m/z28 強(qiáng)度比m/z18強(qiáng)度 大于2則有漏氣可能，進(jìn)一步判斷m/z28強(qiáng)度和m/z69強(qiáng)度比例，小于2即不漏氣，若大于2則有漏氣的可能。
2. 確認(rèn)真空啟動(dòng)的時(shí)間，一般情況下真空啟動(dòng)2小時(shí)后才能達(dá)到較穩(wěn)的狀態(tài)，如果啟動(dòng)時(shí)間小于1小時(shí)，氮?dú)夥蹇赡軙?huì)略高。
3. 確認(rèn)系統(tǒng)是否存在假漏氣：
�、偃绻麆倓偢鼡Q鋼瓶，載氣管路中混入空氣，在一段時(shí)間內(nèi)造成氮?dú)夥遢^高，可加大分流比，使總流量加大到500 ml/min，吹掃10分鐘后再進(jìn)行漏氣檢查。
�、谌绻麆倓偢鼡Q載氣管路過濾器，在一段時(shí)間內(nèi)造成氮?dú)夥遢^高，可加大分流比，使總流量加大到500 ml/min，吹掃10鐘后再進(jìn)行漏氣檢查。
�、廴绻d氣管路中安裝了氦氣過濾器，使用一段時(shí)間后過濾器會(huì)產(chǎn)生飽和而釋放氮?dú)�，造成峰監(jiān)測(cè)時(shí)氮?dú)夥迓愿�，建議更換新的氦氣過濾器。
�、芎饧兌炔粔颍s質(zhì)中含有部分氮?dú)�，在峰監(jiān)測(cè)時(shí)氮?dú)夥迓愿摺?br />
4. 經(jīng)過以上判斷，若在峰監(jiān)測(cè)時(shí)依然漏氣，最常見的漏氣可能有：
�、偕V柱兩端的螺母是否緊固，新安裝的Vesple壓環(huán)，需要升溫至200-250°C保持10—30分鐘后，降溫后重新緊固才可以完全密封。
�、跈z查進(jìn)樣口密封墊是否已經(jīng)超過使用次數(shù)，進(jìn)樣口螺母是否擰緊。
③檢查進(jìn)樣口襯管O型密封圈是否已經(jīng)破損, 進(jìn)樣口襯管螺母是否擰緊。
�、苋绻婵涨婚T的密封圈上沾有灰塵，也會(huì)造成系統(tǒng)漏氣，請(qǐng)關(guān)閉真空后打開真空腔門，清除密封圈上的灰塵，重新啟動(dòng)真空，進(jìn)行漏氣檢查。
